除溫濕度外，潔凈度和氣壓控制也是微環境控制的重要環節。恒溫恒濕箱需配備高效過濾系統，如 HEPA 過濾器，可過濾掉 0.3μm 以上的顆粒，防止污染物對柔性器件造成損害。針對部分對氣壓敏感的器件，可集成氣壓調節模塊，實現微正壓或負壓環境的精準調控，模擬不同海拔或密閉空間的工作場景。